STEM透射電鏡是賽默飛用于高分辨率成像和分析應(yīng)用的場發(fā)射掃描/透射電子顯微鏡，是專為滿足各種材料科學(xué)樣品和樣品的性能和效率而設(shè)計的。在應(yīng)用中具有大靈活性，結(jié)合高再現(xiàn)性能的鏡筒設(shè)計，可支持高分辨率二維和三維表征分析、原位動態(tài)觀測及電子衍射應(yīng)用。
 

　　STEM透射電鏡的主要特點：
 

　　(1)STEM技術(shù)要求較高，要非常高的真空度，并且電子學(xué)系統(tǒng)比TEM和SEM都要復(fù)雜。
 

　　(2)加速電壓低，可顯著減少電子束對樣品的損傷，而且可大大提高圖像的襯度，特別適合于有機高分子、生物等軟材料樣品的透射分析。
 

　　(3)可以觀察較厚的試樣和低襯度的試樣。
 

　　(4)掃描透射模式時物鏡的強激勵，可以實現(xiàn)微區(qū)衍射。
 

　　(5)應(yīng)用掃描電鏡的STEM模式觀察生物樣品時，樣品無需染色直接觀察即可獲得較高襯度的圖像。
 

　　STEM透射電鏡的形成原理：
 

　　在掃描電鏡中，電子束與薄樣品相互作用時，會有一部分電子透過樣品，這一部分透射電子也可用來成像，其形成的像就是掃描透射像。掃描電鏡的STEM圖像跟透射電鏡類似，也分為明場像和暗場像，明場像的探測器安裝在掃描電鏡樣品的正下方，當入射電子束穿過樣品后，散射角度較小的電子經(jīng)過光闌孔選擇后進入明場探測器形成透射明場像，散射角比較大的電子經(jīng)DF-STEM電極板反射，由二次電子探頭接受形成暗場像。